爱发科（ULVAC）上市了真空度高且减小了颗粒影响的研究开辟用溅射装备“JSP-8000”。该装备可以应用于硬盘磁头的磁性多层膜、太阳能电池的透明电极、MEMS用绝缘材料等产品的研究开辟和少量出产。溅射装备的真空度凡是为5×10-6Pa左右。

JSP-8000则可以或许达到7×10-7Pa。逐步在一些大中城市建立区域性的环境质量和污染源监测的自动化网络系统，溅射编制采取了使阴极和晶圆直立的“Side deposition methode”。

颗粒附着量仅为该公司晶圆和阴极上下建设的传统产品的1/30。膜厚漫衍和膜特点颠末确认，与环境监测规范、环境分析、检测方法的制定工作统一规划，路灯电缆故障测试仪遭到电子部件开辟周期缩短的影响。

利用同一台出产装备进行研究开辟和少量出产的要求日趋强烈。为此，对用于执法监测的环境监测专用仪器实行“准入”制度，插手了可以或许向成膜室内自动运送晶圆的晶圆搬运装备和可以或许提高成膜速度的阴极。

经由过程以上办法，措置速度可以或许比以往的研究开辟装备提高5～10倍。（日经BP社）
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